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臺階儀
產品簡介:

臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

產品型號:P-170

更新時間:2024-11-20

廠商性質:代理商

訪問量:638

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產品介紹

P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 P-170的圖案識別算法、增強的光學系統(tǒng)和先進的平臺,這保證了性能的穩(wěn)定和系統(tǒng)間配方的無縫移植- 這是24x7生產環(huán)境的關鍵要求。

產品描述

 P-170臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產驗證的HRP-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統(tǒng)適用于半導體,化合物半導體和相關行業(yè)。 P-170可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。


   該系統(tǒng)結合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的分辨率相機等功能,程序設置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法,可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。

臺階儀主要功能

  •      臺階高度:幾納米至1000μm

  •      微力恒力控制:0.03至50mg

  •      樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

  •      視頻:500萬像素分辨率彩色攝像機

  •      圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

  •      軟件:簡單易用的軟件界面

  •      生產能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化

  •      晶圓機械傳送臂:自動加載75mm至200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍寶石)樣品

主要應用

  •      臺階高度:2D和3D臺階高度

  •      紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

  •      形狀:2D和3D翹曲和形狀

  •      應力:2D和3D薄膜應力

  •      缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應用

  •      半導體

  •      化合物半導體

  •      LED:發(fā)光二極管

  •      MEMS:微機電系統(tǒng)

  •      數(shù)據(jù)存儲

  •      汽車

  •      還有更多:請與我們聯(lián)系以滿足您的要求

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